更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号 :SDGP********************1
原公告的采购项目名称:空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目(****6)
首次公告日期:****年**月**日
二、更正信息
更正事项: 采购文件
更正内容:
1包项目需求和技术方案-货物明细:4;8英寸光刻机,原内容:1.光刻分辨率: ≤ 0.8 ?m(真空接触、光刻胶厚度≤ 1 ?m时、等间距图形Line/Space=1:1,**0mm范围内5点); ≤3.0 ?m(**?m间隙,光刻胶厚度≤ 1 ?m时,等间距图形Line/Space=1:1,**0mm范围内5点);->变更为:1.光刻分辨率: ≤ 1 ?m(真空接触、光刻胶厚度≤ 1 ?m 时、等间距图形 Line/Space=1:1,**0mm 范围内 5 点); ≤3.0 ?m(**?m 间隙,光刻胶厚度≤ 1 ?m 时,等间距图形Line/Space=1:1,**0mm 范围内 5 点);。
1包项目需求和技术方案-货物明细:4;8英寸光刻机,原内容:6.曝光灯:LED曝光灯,可通过软件连续调节和设定光强,使用寿命>****小时,无需气体冷却,曝光光强:≥ **mW/cm^2 @**5nm;≥ **0mW/cm^2 @UV全波段,光强均匀度:≤ ±2.5%@8英寸;->变更为:6.曝光灯:LED 曝光灯,可通过软件连续调节和设定光强,使用寿命>**** 小时,无需气体冷却,曝光光强:≥ **mw/cm^2 @**5nm;≥ **mw/cm^2 @UV全波段,光强均匀度:≤ ±2.5%@8 英寸;。
更正日期:****年**月**日
三、其他补充事宜
无
四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:空天信息大学(筹)
地 址:山东省济南市章丘区大学路2号
联系方式:****-********
2 . 采购代理机构信息
名 称:山东三木招标有限公司
地 址:山东省济南市市中区二环南路****号8楼**5室
联系方式:****-********
3.项目联系方式
项目联系人:张兆冉
电 话:****-********