一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：ZF****-**-****
原公告的采购项目名称：中国科学技术大学湿法工艺台
首次公告日期：****年**月**日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
我公司现对中国科学技术大学湿法工艺台招标文件做出如下更正。此次更正为招标文件的组成部分，具有同等效力。更正内容与招标文件不同之处，按本次更正内容执行。
项目更正内容如下：
1.现对采购需求中“3.2.5后道-光刻工艺台”技术参数进行调整，调整后的技术参数如下：
| 3.2.5后道-光刻工艺台 | |
| 1.主要功能 | 涂胶、显影，需适配4英寸晶圆或对应光刻掩膜版。需整片能够正常涂胶显影。 |
| 2.★电力 | 额定电压**0 V，额定功率≤2 kW； |
| 3.★尺寸 | 内宽：>**** mm； 加柜子外宽<**** mm； 外深：****-**** mm；（所有工艺台的外深应统一） 内深：****-**** mm； 外高：能够运入**** mm高的通道 |
| 4.可稳定维持温度范围 | 热板可维持室温-**0℃ |
| 5.★匀胶机、显影机、热板 | 3*旋涂匀胶机、1*喷淋匀胶机、4*热板、1*HMDS箱，留出显影空间和清洗空间 |
| 6.配件柜配置 | 须配置一个尺寸为高2m-2.3m，宽**cm-**cm，深**cm-**cm的配件柜。 |
| 7.计时器配置 | 须配置一个精确到秒的计时器 |
| 8.★废液排放（原液废料） | 有机排、碱排到厂务；所有厂务排放均向下（到地面） |
| 9.★废液收集口 | 有机（含TMAH，连到有机排）、KOH（连到碱排） |
| **.★废水（废液+大量水）排放 注：和废液不同 | 一般排、有机排、碱排到厂务（一般排水：不含有害化学品的废水** CMH，其余2.4 CMH）；所有厂务排放均向下（到地面） |
| **.★废气排放 | 有机排、碱排、热排到厂务（每种**0 CMH）；所有厂务排放均向下（到地面） |
| **.台面材质 | 实心，防有机（不锈钢） |
| **.空白台面 | 需要 |
| **.★厂务DI、N2、市政水、工艺真空需求 | DI：可适应0.3barg，可适应最大流量**L/min，可适应平均流量0-**L/min； N2：可适应最大流量**0SLPM； 所有资源接口均向下（到地面） |
更正日期：****年**月**日
三、其他补充事宜
无
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学技术大学
地址：合肥市金寨路**号
联系方式：宣老师、沈老师 ****-********
2.采购代理机构信息
名 称：安徽省招标集团股份有限公司
地 址：合肥市紫云路**8号
联系方式：应急客服电话：****-********（接听时间：8:**-**:**,**:**-**:**，节假日除外。潜在供应商应优先拨打项目联系人联系电话，无人接听时再拨打该“应急客服电话”）
3.项目联系方式
项目联系人：刘志凌、张文奇、陈鹏飞（****室）
电 话： ****-********、********、********、**********0
