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清华大学12寸全自动探针台公开招标公告

发布日期:2024年3月14日

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项目概况

**寸全自动探针台 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件,并于****年**月**日 **点**分(北京时间)前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号:清设招第********号

项目名称:**寸全自动探针台

预算金额:**0.****** 万元(人民币)

最高限价(如有):**0.****** 万元(人民币)

采购需求:

包号

名称

数量

是否允许进口产品投标

**

**寸全自动探针台

1套

设备用途介绍 :用于半导体晶圆测试系统.

简要技术指标 :

  1. ★测试温度范围: -**℃~**0℃
  2. ★测试温度精度:±1℃
  3. ★可测晶圆尺寸容量:8吋、**吋(**0mm and **0mm)
  4. 可接受的管芯大小:**0um~**0,**0um
  5. ▲系统总体精度:±1.5 um
  6. ★X轴、Y轴的精度:±1.5um
  7. X轴、Y轴的最小移动量:1um
  8. X轴、Y轴分辨率:<0.**5 um
  9. ▲X轴、Y轴 probing area: ±**5mm
  10. ★Z轴精度:±1.5 um
  11. Z轴分辨率: 0.**1 um
  12. Z轴速率: ** mm/sec
  13. ▲Z轴承载力: >= **0kg
  14. q轴调节范围 :±5°
  15. q轴分辨率: 0.****°
  16. CHUCK的平坦度: <**um
  17. 清针台的平坦度: <**um
  18. 可以对接测试机T****SSTH
  19. ▲支持TSK, TEL的map格式
  20. ▲支持TSK, TEL的GPIB通信协议

合同履行期限:**天

本项目(不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

需要落实的政府采购政策:扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展,优先采购节能产品、环境标志产品等。

3.本项目的特定资格要求:1)通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)和中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询信用记录(截止时点为投标截止时间),被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商,没有资格参加本项目的采购活动;2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得同时参加同一包号的政府采购活动;3)为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加该包的其他采购活动;

三、获取招标文件

时间:****年**月**日 至****年**月**日,每天上午8:**至**:**,下午**:**至**:**。(北京时间,法定节假日除外)

地点:http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

方式:本项目招标文件网上发售,潜在投标人在线提供申请材料,经审核通过后获取电子版招标文件。

售价:¥0.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)

开标时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)

地点:北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧,无须办理入校手续)。

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:清华大学

地址:北京市海淀区清华园

联系方式:王琦********

2.项目联系方式

项目联系人:王琦

电 话:  ********

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