项目概况
**寸全自动探针台 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件,并于****年**月**日 **点**分(北京时间)前递交投标文件。一、项目基本情况
项目编号:清设招第********号
项目名称:**寸全自动探针台
预算金额:**0.****** 万元(人民币)
最高限价(如有):**0.****** 万元(人民币)
采购需求:
包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
** | **寸全自动探针台 | 1套 | 是 |
设备用途介绍 :用于半导体晶圆测试系统.
简要技术指标 :
- ★测试温度范围: -**℃~**0℃
- ★测试温度精度:±1℃
- ★可测晶圆尺寸容量:8吋、**吋(**0mm and **0mm)
- 可接受的管芯大小:**0um~**0,**0um
- ▲系统总体精度:±1.5 um
- ★X轴、Y轴的精度:±1.5um
- X轴、Y轴的最小移动量:1um
- X轴、Y轴分辨率:<0.**5 um
- ▲X轴、Y轴 probing area: ±**5mm
- ★Z轴精度:±1.5 um
- Z轴分辨率: 0.**1 um
- Z轴速率: ** mm/sec
- ▲Z轴承载力: >= **0kg
- q轴调节范围 :±5°
- q轴分辨率: 0.****°
- CHUCK的平坦度: <**um
- 清针台的平坦度: <**um
- 可以对接测试机T****SSTH
- ▲支持TSK, TEL的map格式
- ▲支持TSK, TEL的GPIB通信协议
合同履行期限:**天
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
需要落实的政府采购政策:扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展,优先采购节能产品、环境标志产品等。
3.本项目的特定资格要求:1)通过“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)和中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)查询信用记录(截止时点为投标截止时间),被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商,没有资格参加本项目的采购活动;2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得同时参加同一包号的政府采购活动;3)为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加该包的其他采购活动;
三、获取招标文件
时间:****年**月**日 至****年**月**日,每天上午8:**至**:**,下午**:**至**:**。(北京时间,法定节假日除外)
地点:http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式:本项目招标文件网上发售,潜在投标人在线提供申请材料,经审核通过后获取电子版招标文件。
售价:¥0.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)
开标时间:****年**月**日 **点**分(北京时间)
地点:北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧,无须办理入校手续)。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
无
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:清华大学
地址:北京市海淀区清华园
联系方式:王琦********
2.项目联系方式
项目联系人:王琦
电 话: ********