项目概况
等离子增强化学气相沉积系统 招标项目的潜在投标人应在华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼****室）获取招标文件，并于****年**月**日 **点**分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况
项目编号：HCZB-****-ZB****
项目名称：等离子增强化学气相沉积系统
预算金额：**0.****** 万元（人民币）
采购需求：
碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件测墙薄膜主要组成，等离子增强化学气相沉积是沉积氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工艺，具有沉积速率快，沉积温度低的特点，其原理是在射频源驱动下，通过感应耦合ICP方式、在反应腔的上电极、下电极之间生成高密度等离子体，通过气路系统进入反应腔的工艺气体分子被电离生成等离子体；等离子体中的自由基发生化学反应、生成氧化硅、氮化硅等介质，在衬底材料（例如硅、砷化镓等半导体材料）上沉积成固体薄膜，对推进碳基集成电路的研发非常重要。具体详见招标文件第四章采购需求。
合同履行期限：合同签订后**0天交货并安装完毕
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：(1)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；(2)不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；(3)投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案，未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；(4)本项目不接受联合体投标；(5)本项目接受进口产品；(6)本项目非专门面向中小企业
三、获取招标文件
时间：****年**月**日 至****年**月**日，每天上午9:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京时间，法定节假日除外）
地点：华采招标集团有限公司（北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼****室）
方式：现场获取，携带现金，招标文件售后不退。
售价：￥**0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）
开标时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）
地点：北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼**层****第一会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小微企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、支持脱贫等政府采购政策。
2、本项目招标公告在中国政府采购网（ http://www.ccgp.gov.cn/ ）上发布。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京大学
地址：北京市海淀区颐和园路5号
联系方式：吴老师********
2.采购代理机构信息
名 称：华采招标集团有限公司
地 址：北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼****室
联系方式：崔丽洁、赵娜、刘金秀、金珊**0-********-****/****
3.项目联系方式
项目联系人：崔丽洁、赵娜、刘金秀、金珊
电 话： **0-********-****/****
