一、技术指标 ★1.1二次电子像分辨率(SE):3.0nm@**KV;8.0nm@3KV; ★1.2背散射电子像分辨率(BSE):4.0nm@ **KV; ★1.3放大倍数:8-******倍; 1.4电子光学系统 ★1.4.1电子枪:钨灯丝 1.4.2电子枪偏压:全比例自动偏压,自动灯丝状态监控(显示灯丝剩余寿命状态) 1.4.3加速电压:0.3-**kV; 1.4.4透镜:3级电磁透镜; 1.4.5物镜光阑:≥3孔可变物镜光阑; 1.4.6具有聚光镜光阑; 1.4.7电子束偏移:±**μm(WD=**mm) 1.4.8能谱工作条件:WD≤**mm,TOA=**° ★1.4.9需满足6种探测器测试功能:分别为高真空下二次电子探测器,≥四分割背散射电子探测器,低真空下二次电子探测器,STEM(扫描透射)探测器,阴极荧光探测器,X 射线能谱探测器 1.4.** 防碰撞功能配置:红外CCD探测器观测样品位置防止碰撞或具备同等可防止碰撞样品功能配置 ★1.5样品台 1.5.1 全自动五轴马达驱动样品台 1.5.2移动范围:X≥**mm,Y≥**mm,Z≥**mm,T=-**°-**°,R=**0° 1.5.3导航视野:直径≥**0mm 1.5.4最大样品尺寸:直径≥**0mm 1.5.5配置导航相机 1.6真空系统 1.6.1控制方式:全自动气动阀控制 1.6.2真空规:皮拉尼规 1.6.3真空度:1.5x** -3 Pa 1.6.4低真空:**-**0Pa,标配压差光阑,一键切换 1.6.5真空泵:分子泵(≥**0L/s),机械泵(**5L/min@**Hz,**2L/min@**Hz) 1.7具有图像处理功能,可自动调整亮度对比度,自动对焦,自动消像散,自动灯丝饱和,自动电子束对中,自动束流对中,自动束流亮度,自动开启等 1.8扫描模式:具有快扫,慢扫模式 ★1.9配置离子溅射仪,具有全自动抽真空和全自动操作的沉积镀膜系统,用于扫描电镜(SEM)样品镀制导电膜,配置金靶材。 ★1.** EDX能谱仪:有效窗口面积≥**mm2 ,分析性SDD硅飘移电制冷探测器,具备元素谱图及面分布实时功能。 ★二、配置 2.1主机 1套 2.2检测器具备6 种测试功能:高真空二次电子探测器(用于药包材及医疗材料表面形貌),≥四分割背散射探测器(用于药包材及医疗材料的衬度相),低真空下二次电子探测器(用于不导电药包材的直接观测),高低真空下阴极荧光探测器(用于发光医疗材料以及医疗金属材料结构问题),STEM(扫描透射)探测器(用于细菌鉴定),X 射线能谱探测器(用于药包材以及医疗材料成分以及分布); 2.3 全自动五轴马达驱动样品台 1套 2.4 工作站1套 2.5 光学导航系统(导航相机) 1套 2.6 旋钮板一套;轨迹球一套;涡轮分子泵一套;机械泵一套;离子溅射仪一套;金靶材一套 2.7预对中灯丝 ** 支 2.8导电胶带 5个 2.9研磨膏2瓶 2.**泵油2L 2.** 电脑及打印机 2.** 提供两年以上的备品备件(包括各种保险丝、密封圈、泵油、专用工具、样品托、金属抛光膏、导电胶带及预对中灯丝) 2.**主原厂一年质保 1套 |